1 / 19

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum. Frímann Haukur Ómarsson Litrófsgreiningar sameinda og hvarfgangur efnahvarfa. Nanótækni. Eiginleikar efna á nanómetra (10 -9 m) skala Miklir möguleikar m.a. við gerð örrása og odda fyrir smugsjár

hansel
Télécharger la présentation

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum Frímann Haukur Ómarsson Litrófsgreiningar sameinda og hvarfgangur efnahvarfa

  2. Nanótækni Eiginleikar efna á nanómetra (10-9 m) skala Miklir möguleikar m.a. við gerð örrása og odda fyrir smugsjár Nanóstrúktúrar á yfirborðum

  3. Rafeindadrifin útfelling Electron Beam Induced Deposition (EBID) Prentun nanóstrúktúra á yfirborð Notast við háorkurafeindageisla Önnur tækni er jónadrifin útfelling þar sem notast er við jónageisla.

  4. EBID ferlið

  5. Sýnishorn af EBID-myndum

  6. Forverasameindir Eiginleikar sem leitað er eftir eru m.a. að sameindirnar: séu rokgjarnar við stofuhita brotni sértækt niður í ferlinu og gefi það niðurbrot sem áhugi er á séu stöðugar séu ódýrar séu helst ekki baneitraðar

  7. Algengar forverasameindir Mest rannsökuðu forvera-sameindirnar eru kolefnisforverar Dæmi um aðrar algengar sameindir eru W(CO)6, Fe(CO)5, PtCpMe3 og WF6 Málminnihald útfellinga er mismunandi, t.d. um 10% fyrir W(CO)6 en 80-100% fyrir WF6

  8. Fjöldi birtinga á algengum forverum

  9. Rafeindageislinn Yfirleitt er notast við rafeindageisla frá rafeindasmásjá Hægt að fókusera geislann niður í 1 nm í þvermál Orkan er yfirleitt 1-30 keV Mögulegt er að færa geislann til á yfirborðinu

  10. Rafeindasmásjá

  11. Yfirborð Forverasameindirnar ásogast á yfirborðið, mismikið ásog eftir yfirborðsefnum Gefa frá sér dótturrafeindir og bakdreifðar rafeindir sem hafa lægri orku en rafeindirnar úr geislanum

  12. Endurkastaðar rafeindir

  13. Dreifing endurkastaðra rafeinda

  14. Niðurbrot forverasameinda í rafeindageislanum Ýmis ferli möguleg Lágorkurafeindir, <20eV Rjúfandi rafeindaálagning Tvískautssundrun Háorkurafeindir, >20eV Electron impact

  15. Möguleg niðurbrotsferli Rjúfandi rafeindaálagning: AB+e- → [AB-]* → A+B- Tvískautssundrun AB+e- → AB*+e-→ A++B-+e- Electron impact AB+e-→ AB++2e-→ A++B+2e-

  16. Þversnið og orka endurkastaðra rafeinda

  17. Samantekt Á tiltölulega einfaldan hátt er hægt að prenta yfirborð að vild Upplausnin er alltaf verri en upplausn rafeindageislans Skilningur manna á ferlinu ekki fullnægjandi

  18. Heimildir I. Utke, P. Hoffmann, J. Melnagilis. J. Vac. Sci. Technol. B 26(4), 2008 W.F. van Dorp, C. W. Hagen. J. Appl. Phys. 104, 081301, 2008

More Related