1 / 15

氣體流量檢測 CMG 系列

氣體流量檢測 CMG 系列. CMG 的特徵. 體積精巧 , 高精密度 , 安裝簡單 方向表示可改變 、 不可選擇安裝方向 LED 顯示 , 觀測簡易 （ 數位顯示流量 ・ 等顯示均能簡單測定 、 管理 ） 上下限警報的設定 、 瞬間流量輸出類比值等亦可簡單顯示至盤體 計測質量流量時 、 不須補正溫度和壓力 流孔板的 bypass 構造 , 低壓損亦不易受模糊的影響 可自行診斷 , 並簡單應付故障. 計測原理 （ Sensor 的構造 ）. 現正使用山武獨步開發之熱式流速 Sensor. １．構造

summer-jackson
Télécharger la présentation

氣體流量檢測 CMG 系列

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. 氣體流量檢測CMG系列

  2. CMG的特徵 • 體積精巧 , 高精密度 , 安裝簡單 • 方向表示可改變、不可選擇安裝方向 • LED顯示 , 觀測簡易 （數位顯示流量・等顯示均能簡單測定、管理） • 上下限警報的設定、瞬間流量輸出類比值等亦可簡單顯示至盤體 • 計測質量流量時、不須補正溫度和壓力 • 流孔板的bypass構造 , 低壓損亦不易受模糊的影響 • 可自行診斷 , 並簡單應付故障

  3. 計測原理（Sensor的構造） 現正使用山武獨步開發之熱式流速Sensor １．構造 μＦセンサチップは、シリコンマイクロマシニング技術、及び薄膜形成技術により製作され 　　た１辺が１.７mm、厚さ０.５mm の高感度, 高速応答の熱型フローセンサです（図１）。 　　　基台（シリコンチップ）の表面上に絶縁膜層を形成し、その内部にはヒータ（Rh）、上流側 　　温度センサ（Ru）、下流側温度センサ（Rd）、周囲温度センサ（Rr）が白金薄膜で形成されてい 　　ます。白金薄膜は温度に応じて抵抗値が変化し、測温抵抗体として機能します。ヒータ（Rh） は基台の中央部にあり、その両側に上流側温度センサ（Ru）と下流側温度センサ（Rd）が、ま 　　た周囲温度センサは基台の周辺部に配置されています。ヒータ（Rh）と上流側、下流側温度セ 　　ンサ（Ru,、Rd）がある基台の中央部は、その下部のシリコンが異方性エッチングにより除去さ 　　れ、基台と熱的に絶縁されたダイアフラム構造となっています。　　

  4. Ru Rh Ru Rh Rd Rd 計測原理（Sensor的計測原理） 熱式Sensor計測質量流量。不需要補正溫壓！ 2.計測原理 　　　周囲温度センサ（Rr）で検出される流体温度より一定温度だけ高くなるようにヒータ（Rh）　 を駆動すると、流れの無いときは図２(a) のようにヒータ両側の温度分布は対称になり上流側 　　温度センサ（Ru）と下流側温度センサ（Rd）の温度は等しくなります。 　　　ここに流れが生じると図２(b) のようにヒータ両側の温度分布の対称性が崩れ、上流側温度 　　センサ（Ru）の受ける温度は低下し、下流側温度センサ（Rd）の受ける温度は上昇します。 　　　この温度差（抵抗値の差）をブリッジ回路で検出することにより、流れに応じた電気出力が 　　得られます。このようにマイクロフローセンサは熱を利用した計測原理を用いているため、出 　　力は気体の熱伝導率に関係しており質量流量の計測ができます。 　　　またマイクロフローセンサはサイズが小さいだけでなく、ヒータ、温度センサの検出エレメ 　　ントが基台と熱的に絶縁されたダイアフラム内に形成されているため、高感度（１cm/s 程度の 　　超低流速も計測可能）・高速応答（１ms 程度）・低消費電力の特長を実現し、さらにヒータを挟 　　んだ温度センサの配置が左右対称になっているため逆流の計測も可能です。 ? ? Flow (a) 無流量狀態 (b) 接收流量狀態 圖2 Micro Flow Sensor 計測原理 ( A-A’切面)

  5. CMG的構造 • 採用bypass設計之構造 , 實現低壓損之功能 • Bypass設計之構造 ,不易受到微塵的影響 • 其本體無須移動 , 機械使用壽命長

  6. CMG的構造圖

  7. CMG壓損 （大氣壓力下的壓損）

  8. CMG　TBZ　SPEC上的比較(1)

  9. CMG　TBZ　SPEC上的比較(2)

  10. CMG　TBX　SPEC上的比較(1)

  11. CMG　TBX　SPEC上的比較(2)

  12. CMG　TBX　啟停時的應答特性 下述構成之時間應答的比較實驗 流量開始以及停止時 , 其應答時間的差異會造成誤差！

  13. CMG　TBX　啟停時的精密度 TBX啟停時 , 其誤差增加‘＋’！ 10m3/h時 20m3/h時

  14. CMGの機能 • 瞬間流量上下限警報立即察覺流量異常。 • 累計計算精準檢測其規定流量的流動情形。　　　　　維修期間亦可檢測！ • 類比輸出的範圍 可設定輸出範圍至欲檢測之流量區域內。　 • 基準溫度的變更　　　　　　　　　　　　　　　５℃刻度內 , 可變更基準温度 • 脈衝重量的變更可變更累計脈衝之重量。

  15. CMG的自行診斷功能 • 診斷為逆流則以負數顯示 • Sensor異常的診斷 • 記憶異常的診斷 • 登錄資料異常的診斷

More Related