1 / 26

SPEKTROMETRIA AUGEROÝCH ELEKTRÓNOV

SPEKTROMETRIA AUGEROÝCH ELEKTRÓNOV. Použitá literatúra. L.E. Davis et. al.: Handbook of A uger E lectron S pectroscopy, Physical Electronic Industries, Inc., 1994 .

trella
Télécharger la présentation

SPEKTROMETRIA AUGEROÝCH ELEKTRÓNOV

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. SPEKTROMETRIA AUGEROÝCH ELEKTRÓNOV

  2. Použitá literatúra • L.E. Davis et. al.: Handbook of Auger Electron Spectroscopy, Physical Electronic Industries, Inc., 1994. • D. Briggs and M.P. Seah: Practical Surface Analysis – Vol. 1 Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy, John Willey & Sons, 1983.

  3. Analýza povrchu / objemu

  4. Interakcia primárnych elektrónov s povrchom

  5. Vznik Augerových elektrónov* E = EL1 – EK + EL23 KLL elektrón * objavené v roku 1923 Pierrom Augerom

  6. Pravdepodobnosť vyžiarenia AE

  7. Energie Augerových elektrónov

  8. Typické spektrum sekundárne elektróny odrazené elektróny Augerove elektróny

  9. Ukážky spektier

  10. Posun AE čiar

  11. Analýza spektier

  12. Koeficienty citlivosti

  13. Analýza spektier

  14. Hĺbkový profil SiO2 na Si - povrch

  15. SiO2 na Si - podložka

  16. Hĺbkový profil „Hĺbkový“ profil SiO2 vrstvy nanesenej na Si podložke

  17. Hĺbkový profil

  18. Aké vzorky sa dajú analyzovať? • stabilné vo vákuu • elektricky vodivé • hladký povrch • rozumný rozmer (max. 10x15x5 mm)

  19. Základné prvky spektrometra Vákuový systém • zakladacia komora (rotačná, turbomolekulárna a výbojová výveva) • analyzačná komora (výbojová a sublimačná výveva) • tlak: 10-5 – 10-9 Torr (10-3 – 10-7 Pa) Zdroj elektrónov + fokusačný a rastrovací systém • zdroj - W vlákno • priemer elektrónového zväzku: cca 10 mm • energia elektrónového zväzku: 3 keV Analyzátor elektrónov • valcový zrkadlový analyzátor Ar delo • priemer Ar zväzku: 0,5 - 1 mm • energia Ar zväzku: 600 – 3000 eV

More Related