半導體設備商 設備維修資訊系統建構

1. 半導體設備商設備維修資訊系統建構 以CUSEM半導體設備商為例 The Repair Information System Construction Of The Supplier Of Semiconductor 研究生：黃國政 指導老師：蕭飛賓 博士

2. 目錄 • 第1章 緒論 • 第2章 文獻探討 • 第3章 個案分析與系統架構 • 第4章 系統設計與建構 • 第5章 結論與建議

3. 第1章 緒論 • 台灣為半導體之主要代工國家，亦是LCD液晶螢幕主要之生產國，生產過程中所需之設備大都依賴國外半導體設備大廠，也因此國內許多設備商除了本身之既有產品外，亦代理國外半導體及LCD製程之設備。

4. 維護能力 售後服務 如何 管理？ 教育訓練 12吋 8吋 7代 6吋 6代 4吋 5代 4.5代 3.5代

5. 我國目前半導體產業產值已是全球第四的，但製程設備自製率尚不及1%。無法自製的結果，維修及零組件更換的時效掌握在別人的手中，除不利設備稼動率的維持，亦影響差異化的服務需求。我國目前半導體產業產值已是全球第四的，但製程設備自製率尚不及1%。無法自製的結果，維修及零組件更換的時效掌握在別人的手中，除不利設備稼動率的維持，亦影響差異化的服務需求。 • 有鑑於此，國內許多代理商所代理國外之製程設備，並無完善之設備資料，因此，每一位客服人員的維修經驗與製程設備相關之資料，即是最寶貴的技術資產。

6. KONWLEDGE Web 網站 DATA 資訊 知識 report 電子化 圖形 研究目的 • 因應IT科技的發展及INTERNET的進步。 • 將製程設備相關之機台履歷與維修報告電子化，建構出一套設備維修服務資訊系統， • 應用”知識管理”概念將維修報告整理出有用的資訊，轉換為知識

7. 第2章 文獻探討 半導體設備可分為三類

8. 設備儀器 資金人力資源 CAD CAE 服務支援 貨運 海關 科學園區    封 裝 成品測試 晶粒測試及切割 邏輯設計 • 140 • 4 • 16 • 48 • 37 光罩設計 設計 製造 測試 封裝 光罩 材料 • 13 導線架 • 8 • 20 晶圓 化學品 長 晶 晶圓切割 我國半導體產業結構 資料來源：工研院經資中心ITIS計畫(Mar. 2001)

9. 上游材料 中游面板 下游應用 我國LCD產業結構 輔祥、瑞儀 先益、大億 元津、福華 盛美、寰宇 中強光電 台灣奈普等二十餘家 台灣凸版 展茂、劍度 和鑫、昌益 奇美、勝華 宏東洋 台灣康寧 中晶光電 鉅晶、發殷 碧悠、正達 台灣板保 *表示計畫中 劍度 錸德 勝華 默克光電 協臻、力特 日東電工 *汎納克 *住友化學 聯電 茂矽 華邦 聯詠 致新科技 *台灣默克 玻璃基板 ITO玻璃 彩色濾光片 偏光膜 液晶 背光模組 驅動 IC TN LCD STN LCD TFT LCD 勝華、光聯 碧悠、美相 華映、勝華、 南亞、光聯 碧悠、國喬、凌巨、 高雄日立、台灣愛普生等 聯友、元太、華映、達碁 統寶、奇美、瀚宇、廣輝 達威、久正、所羅門、夏普電子 泉毅、晶采、眾福、上靖 全台晶像..等十多家 模組廠商 影視產品 消費產品 資訊產品 儀表產品 通信產品 筆記型電腦 LCD Monitor 數位相機 PDA 工業儀表 醫療儀表 飛行儀表 家電產品 手錶 計算機 行動電話 汽車導航 呼叫器 視訊電話 攜帶電視 VCD Player 投影機

10. 半導體產業領域範圍 產品 產業結構 產業技術 半導體材料 半導體材料業 分離式元件 設計技術 IC設計業 光電元件 製程技術 IC製造業 積體電路 封裝技術 IC封裝業 測試技術 IC測試業 光罩技術 IC光罩業 設備技術 IC設備業

11. 台灣半導體業2002年~2004產值及成長率 半導體產業為台灣生產結構的重心，主要產業經營型態以代工為主。

12. 半導體設備產業特性 • 變化速度快，景氣起伏很大，為典型高風險產業 產業特性 寡占市場 專業分工 互補發展

13. 目前產值已是全球第四的我國半導體產業，製程設備自製率尚不及5%(工研院機械所ITIS計畫，2004)。無法自製的結果，維修及零組件更換的時效掌握在別人的手中，除不利設備稼動率的維持，亦影響差異化的服務需求。目前產值已是全球第四的我國半導體產業，製程設備自製率尚不及5%(工研院機械所ITIS計畫，2004)。無法自製的結果，維修及零組件更換的時效掌握在別人的手中，除不利設備稼動率的維持，亦影響差異化的服務需求。

14. 2005年全球十大半導體設備制造商

15. 當設備發生故障時，如何利用以往的維修經驗，及相關的零件資訊。當設備發生故障時，如何利用以往的維修經驗，及相關的零件資訊。 24小時 生產 妥善率 生產力 • 找出可能發生的原因，以最少的時間，來進行修護，以減少廠商的損失。 固障率

16. 人員流動率提高 設備 售後服務 維修挑戰 專業教育訓練 的不足 製程設備眾多 維修能力

17. 維修 • 所有一切為防止設備老化及維護設備性能所作的檢查、加油、維護、調整等日常保護活動，包括為測定老化程度而作的必要檢查或診斷，或為修復老化而進行的修理等 。

18. 固障時的影響

19. 設備故障之浴缸曲線 故 障 頻 率 時間 初期故障 偶發故障 劣化故障

20. 維護策略

21. 由設備維修的 過程中，會產生相 關維修的資訊，可做為 日後判斷故障依據 失效次數失效（當機）次數 非計劃(異常)停機時間： 例如機台當機之修機 計劃性停機時間： 例如定期保養

22. 半導體生產設備日趨精密，生產產品的速度PPH(Part Per Hour)亦趨快速，為了維護設備在生產產品的過程中，維持設備良好的性能，提高設備的使用率，建構一套維修系統是極為重要。

23. 知識管理 • 以往組織企業的知識，都是累積在公司成員或員工的腦海中，然而也將隨著員工之離職而消失，無法被有系統地記錄下來，實為企業在無形資產上之一大損失。既使記錄下來做成文件，想要做檢索查閱，卻是十分地繁雜。

24. 為何需要知識管理 • 無法適時獲得適當資訊 • 無法即時找到需要資訊 • 資訊的組織整合困難 • 資訊為少數人掌握 • 資訊分享不易

25. 知識管理 內隱知識 • 經驗，技術 • 難以公式化 外顯知識 文件，圖片 可被公式化

26. KPMG知識管理程序 Step 5 應用 Step 4 連結 Step 3 過濾 Step 2 索引 Step 1 獲得 4

27. 傳統的文件－紙張

28. 電子化流程改善 現行方式 維修後使用紙本記錄 LEADER簽核 主管簽核 助理歸檔 電子化方式 維修後使用紙本記錄 輸入電腦紀錄 V.S. LEADER簽核 主管簽核 資料儲存於系統

29. 知識管理的重要性 • 知識管理可以長年地累積知識， • 並且能夠將個人）的寶貴經驗永久且有系統地加以保存於法人（公司）的組織中，不會因個人的離職，使公司無形的資產也隨之流失。 • 企業必須將個人的知識化為組織的無形資料，並且能有系統、有效率的加以儲存，進一步成為公司的規章制度，如此才能發揮知識管理的功效。 • 以往資料的累積，以往只靠人工的方式來管理，無法做的盡善盡美，現金可運用資訊科技，將這些經驗知識加以有系統的保存，並且能夠容易的讀取，在這些資料中創造新的知識

30. 知識的演進 經驗知識的累積 智慧 有意義的資料 知識 資料收集 資訊 資料

31. C公司主要技術為擁有國內最高技術層次之真空薄膜製程C公司主要技術為擁有國內最高技術層次之真空薄膜製程 之相關設備設計、製造與銷售業務，也是目前國家高科技重點培育 項目之一 “半導體製程設備關鍵技術” 。其應用領域完全涵蓋目前 以及未來所有高科技領域之真空製程設備，如： (1) 積體電路前段製程設備 (2) 積體電路後段封裝 Flip Chip 凸塊製程設備 (3) 光電半導體真空製程設備 (4) 被動元件連續式真空濺鍍設備 (5) 通訊元件真空製程設備 (6) 有機發光 OLED 真空製程設備 (7) 薄膜電池,太陽能電池製造設備 (8) 學術界 R&D system (9) CF自動化量測檢查設備 (10)LCD ETCHER 代理 第3章 個案分析 個案公司簡介

32. Batch Type Vacuum System Sputter System Evaporator System Plasma Cleaner CVD System LP-CVD System Application (1) 光電 : LED , OEL , ITO … etc 1.前段製程 : Growth of epitaxy : PE-CVD, LP-CVD, LPE 2.中段製程 : Die production : E/B evaporator, R/H evaporator, Asher 3.後段製程 : Die package : Plasma cleaner 4.平面顯示器 : Inline sputtering system 5.有機發光 : OLED Evaporation System (2) IC 封裝/測試 1.Bump metallizer : sputter system 2.Bump etching : PR Asher 3.Bump Reflow : Reflow Furnace 4.Welding and Molding : Plasma Cleaner 5Wafer metallizer : Sputter System (3) 光碟產業 1.DVD-RAM , MD 之 R&D Sputter System 2.CD Stamper Metallizer 3.CD Stamper Asher

33. Full Color OLED Deposition System ( □ 200 × 200mm Glass )

34. OLED Vacuum Oven System

35. IC ETCHER SYSTEM

36. LCD ETCHER SYSTEM

37. 組織所面臨的問題 員工找不到所需的知識、文件 過多的垃圾資訊及無價值文件 如何快速擬定保養、維護計劃 紙張成本太高、公文傳遞效率不佳 期望員工學習，分享他人的經驗 跨地域單位，各地的資源整合

38. 一般 資料 維修報告 散亂的網路資源 機台 資料 裝機行程 搜尋不易 資料太多 浪費時間 公司 KNOW HOW 機密 文件 客戶資料 電子郵件 規格書 技術文件 知識缺乏- 資訊零亂

39. 第4章 系統設計與建構 設備維護管理資訊系統模式 設備維護管理資訊系統 維護管理功能 知識管理功能 教育訓練 策略 系統化策略 個人化策略

40. 設備維護服務流程 故障發生 客戶端尋求設備商協助 設備商接獲通知 完工，簽收 至客戶端故障排除 故障分析與派工 維修報告歸檔 維修零件查詢與報價 結束 無法處理-回報原廠 等待原廠回報處理

41. 國內許多代理商所代理國外之製程設備，並無完善之設備資料，因此，每一位客服人員的維修經驗與製程設備相關之資料，即是最寶貴的技術資產，以設備商的角度，如何管理設備的售後服務及提高維修保養能力，是一項困難的工作。國內許多代理商所代理國外之製程設備，並無完善之設備資料，因此，每一位客服人員的維修經驗與製程設備相關之資料，即是最寶貴的技術資產，以設備商的角度，如何管理設備的售後服務及提高維修保養能力，是一項困難的工作。

42. 維修知識的處理流程 電腦自動化 標準維修文件 OUTPUT INPUT 獲得 專案工地 知識庫 過濾 裝機規範 與相關資料 FAQ 索引 維修報告 裝機報告 教學文件 分類

43. 設備維護資訊系統 流程管理 專案管理 文件管理 表單管理 會議管理 群組討論 教育訓練 知識管理 客戶管理 電子公告 電子郵件 客戶服務

44. 系統架構 –軟體

45. 系統架構 –硬體

46. 應用資訊數位化 推行KM 設備維修服務資訊系統 員工迅速找到所需的知識、文件 搜尋電子化 電子流程簽核 運用電子表單，自動流程，無紙化 整合為企業智慧及高價值文件 電子文件管理 E-Learning 員工自動學習，分享自我保貴經驗 跨區支援 利用寬頻、行動方案支援

47. 系統規劃

48. 技術維修服務資訊系統 文件與設定 重要宣告 常用連絡 行事曆事項 專案區

49. 文件庫

50. 專案文件-CMO