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奈米科技教學改進計畫 數位化網路自我學習練習題 「微電薄膜之生長及分析實驗」單元 第一單元 : 真空技術與實務操作 逢甲大學材料科學與工程學系編製 PowerPoint Presentation
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奈米科技教學改進計畫 數位化網路自我學習練習題 「微電薄膜之生長及分析實驗」單元 第一單元 : 真空技術與實務操作 逢甲大學材料科學與工程學系編製

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奈米科技教學改進計畫 數位化網路自我學習練習題 「微電薄膜之生長及分析實驗」單元 第一單元 : 真空技術與實務操作 逢甲大學材料科學與工程學系編製

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  1. 奈米科技教學改進計畫 數位化網路自我學習練習題 「微電薄膜之生長及分析實驗」單元 第一單元:真空技術與實務操作 逢甲大學材料科學與工程學系編製

  2. ( ) • 何謂真空的定義? (A) ㄧ容器內的壓力低於一大氣壓(B)ㄧ容器中沒有任何的氣體(C) ㄧ容器中氣體密度小於2.5×10-19 mol/cm3.

  3. ( A ) • 何謂真空的定義? (A) ㄧ容器內的壓力低於一大氣壓(B)ㄧ容器中沒有任何的氣體(C) ㄧ容器中氣體密度小於2.5×10-19 mol/cm3.

  4. ( ) • 真空可以真空度來區分為(何者為非):(A) 粗略真空(1×105 Pa ~1× 10-1 Pa) (B) 高度真空(1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa) (C) 超高真空(1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa)

  5. ( B ) • 真空可以真空度來區分為(何者為非):(A) 粗略真空(1×105 Pa ~1× 10-1 Pa) (B) 高度真空(1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa) (C) 超高真空(1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa)

  6. ( ) • 下列敘述何者為非? (A) 真空室是完全一個密閉的空間 (B) 真空計是用來偵測真空度 (C) 派藍尼真空計常被使用在偵測超高真空

  7. ( B ) • 下列敘述何者為非? (A) 真空室是完全一個密閉的空間 (B) 真空計是用來偵測真空度 (C) 派藍尼真空計常被使用在偵測超高真空

  8. ( ) • 真空計的分類可用以下哪幾種方式區分? (A) 量測範圍 (B) 量測方法 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非

  9. ( C ) • 真空計的分類可用以下哪幾種方式區分? (A) 量測範圍 (B) 量測方法 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非

  10. ( ) • 如何選擇真空計:(A)依照當日天氣 (B) 依照系統所需真空度 (C) 依照個人喜好選擇

  11. ( B ) • 如何選擇真空計:(A)依照當日天氣 (B) 依照系統所需真空度 (C) 依照個人喜好選擇

  12. ( ) • 以下何者為非: (A) 粗略真空1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa (B) 中度真空 1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa (C) 高度真空1×10 Pa-1 ~ 1×10-4 Pa (D) 超高真空1×105 Pa ~1× 10-1 Pa

  13. ( D ) • 以下何者為非: (A) 粗略真空1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa (B) 中度真空 1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa (C) 高度真空1×10-1Pa ~ 1×10-4 Pa (D) 超高真空1×105 Pa ~1× 10-1 Pa

  14. ( ) • 目前最常用的真空單位:(A) Pascal (B) Torr (C) mbar (D) atm

  15. ( A ) • 目前最常用的真空單位:(A) Pascal (B) Torr (C) mbar (D) atm

  16. ( ) • 下列何者非等值換算單位 (A) 1 atm (B) 760 torr (C) 750 mbar

  17. ( C ) • 下列何者非等值換算單位 (A) 1 atm (B) 760 torr (C) 750mbar

  18. ( ) • 下列何者非真空計(A) 派藍尼真空計 (B) 熱陰極真空計 (C) T-A真空計

  19. ( C ) • 下列何者非真空計?(A) 派藍尼真空計 (B) 熱陰極真空計 (C) T-A真空計

  20. ( ) • 以下何者為是 :(A) 真空系統是指幫浦的串連 (B) 真空系統是一完善系統不需要加裝真空計辨識真空度 (C) 真空計在真空系統中是辨識真空度的重要指標

  21. ( C ) • 以下何者為是 :(A) 真空系統是指幫浦的串連 (B) 真空系統是一完善系統不需要加裝真空計辨識真空度 (C) 真空計在真空系統中是辨識真空度的重要指標

  22. ( ) • 真空系統如何選用幫浦(下列何者為是)? (A)所能達到之最高壓力(high Pressure ) (B)有效之工作壓力範圍(Pressure Range) (C)抽氣速率大小(Pumping Speed)

  23. ( A ) • 真空系統如何選用幫浦(下列何者為是)? (A)所能達到之最高壓力(high Pressure ) (B)有效之工作壓力範圍(Pressure Range) (C)抽氣速率大小(Pumping Speed)

  24. ( ) • 下列何者不是真空系統選用幫浦所需考慮的準則? (A)抽氣速率大小(Pumping Speed) (B)排氣口壓力(Exhaust Pressure) (C)無效之壓力範圍(Pressure Range)

  25. ( C ) • 下列何者不是真空系統選用幫浦所需考慮的準則? (A)抽氣速率大小(Pumping Speed) (B)排氣口壓力(Exhaust Pressure) (C)無效之壓力範圍(Pressure Range).

  26. ( ) • 下列何者為真空系統所需俱備的必要項目 ?(A) 幫浦 (B) 真空計 (C) 腔體(D)以上皆是

  27. ( D ) • 下列何者為真空系統所需俱備的必要項目 ?(A) 幫浦 (B) 真空計 (C) 腔體(D)以上皆是

  28. ( ) • 下列何者為儲氣式幫浦? (A) 活塞式幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 冷凍幫浦

  29. ( C ) • 下列何者為儲氣式幫浦? (A) 活塞式幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 冷凍幫浦

  30. ( ) • 真空幫浦在真空系統中的主要作用為: (A) 抽氣 (B) 排氣 (C) 打氣 (D) 儲氣

  31. ( A ) • 真空幫浦在真空系統中的主要作用為: (A) 抽氣 (B) 排氣 (C) 打氣 (D) 儲氣

  32. ( ) • 下列何者為排氣式幫浦?(A) 吸附幫浦 (B) 結拖幫浦 (C) 擴散幫浦

  33. ( B ) • 下列何者為排氣式幫浦?(A) 吸附幫浦 (B) 結拖幫浦 (C) 擴散幫浦

  34. ( ) • 下列何者非ㄧ大氣壓可啟動的幫浦? (A) 擴散幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非

  35. ( C ) • 下列何者非ㄧ大氣壓可啟動的幫浦? (A) 擴散幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非

  36. ( ) • 真空系統可能因什麼因素而受到汙染?(A) 氣體在腔體中燃燒 (B)幫浦的油氣回流造成污染 (C) 氣體管路帶來的不明氣體導致氣體生成物 • (B) The hydrogen (氫) atom at ground state (A) can, (B) cannot, absorb a photon with 9.0 eV.

  37. ( B ) • 真空系統可能因什麼因素而受到汙染?(A) 氣體在腔體中燃燒 (B)幫浦的油氣回流造成污染 (C) 氣體管路帶來的不明氣體導致氣體生成物

  38. ( ) • 想從一大氣壓將系統降至粗略真空範圍需要選用什麼樣的幫浦? (A) 擴散幫浦 (B) 魯式幫浦 (C) 冷凍幫浦

  39. ( B ) • 想從一大氣壓將系統降至粗略真空範圍需要選用什麼樣的幫浦? (A) 擴散幫浦 (B) 魯式幫浦 (C) 冷凍幫浦

  40. ( ) • 何為RCA 清洗(何者為非)?(A) 屬於半導體製程的一部份 (B)可去除晶圓上的油污、附著物及表面氧化物 (C)處理矽晶圓的主要清理流程

  41. ( C ) • 何為RCA 清洗(何者為非)?(A) 屬於半導體製程的一部份 (B)可去除晶圓上的油污、附著物及表面氧化物 (C)處理矽晶圓的主要清理流程

  42. ( ) • 下列何者非RCA清洗所需藥品? (A)氰氟酸 (HF) (B) 氨水 (NH4OH) (C) 鹽酸 (HCl)

  43. ( C ) • 下列何者非RCA清洗所需藥品? (A)氰氟酸 (HF) (B) 氨水 (NH4OH) (C) 鹽酸 (HCl)

  44. ( ) • RCA清洗的步驟中哪個動作是不需要的? (A) 加熱 (B) 以去離子水清洗 (C) 活化/敏化

  45. ( C ) • RCA清洗的步驟中哪個動作是不需要的? (A) 加熱 (B) 以去離子水清洗 (C) 活化/敏化

  46. ( ) • 選用下列何種幫浦組合可以達到中度真空?(A) 魯式幫浦+擴散幫浦 (B) 擴散幫浦+冷凍幫浦 (C) 冷凍幫浦+渦輪分子幫浦

  47. ( A ) • 選用下列何種幫浦組合可以達到中度真空?(A) 魯式幫浦+擴散幫浦 (B) 擴散幫浦+冷凍幫浦 (C) 冷凍幫浦+渦輪分子幫浦

  48. ( ) • 以下哪一種方式不能達到高度真空?(A) 乾式幫浦+渦輪分子幫浦 (B) 乾式幫浦+冷凍幫浦 (C) 以上皆可

  49. ( C ) • 以下哪一種方式不能達到高度真空?(A) 乾式幫浦+渦輪分子幫浦 (B) 乾式幫浦+冷凍幫浦 (C) 以上皆可

  50. ( ) • 高真空使用的幫浦跟低真空使用的幫浦有什麼差異? (A) 轉速不同 (B) 低真空幫浦可以從ㄧ大氣壓啟動,高真空幫浦無法從ㄧ大氣壓下啟動 (C) 高真空幫浦可以從ㄧ大氣壓抽到高真空,低真空幫浦只能從一大氣壓抽到低真空