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受控系統數學模型之求取 指導老師 : 劉雲輝 報告人 : 趙銘靖 日期 :99.04.15

受控系統數學模型之求取 指導老師 : 劉雲輝 報告人 : 趙銘靖 日期 :99.04.15. 以右圖雙軸定位平台，來 模擬 TFT-LCD 面板檢測機 台上之鏡頭。 紅色圈內為 模擬機台上之鏡頭，當因 外部環境產生振動時，鏡 頭也會隨之晃動希望能以 PID 控制器產生的操作量 能有效抑此振動， 使機台 上鏡頭與花崗岩之相對位 移量最佳為抑制到 1um 。. 目的. 平板式雙軸平台（大尺寸 30cm×30cm×12cm ）測試數據. 受控系統數學模型之求取.

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受控系統數學模型之求取 指導老師 : 劉雲輝 報告人 : 趙銘靖 日期 :99.04.15

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  1. 受控系統數學模型之求取 指導老師:劉雲輝 報告人:趙銘靖 日期:99.04.15

  2. 以右圖雙軸定位平台，來 模擬TFT-LCD面板檢測機 台上之鏡頭。紅色圈內為 模擬機台上之鏡頭，當因 外部環境產生振動時，鏡 頭也會隨之晃動希望能以 PID控制器產生的操作量 能有效抑此振動，使機台 上鏡頭與花崗岩之相對位 移量最佳為抑制到1um。 目的 平板式雙軸平台（大尺寸30cm×30cm×12cm）測試數據

  3. 受控系統數學模型之求取

  4. 步階響應測試

  5. 步階響應測試

  6. 步階響應測試 取樣頻率 :10000HZ，取樣點數:100000點。 0.1 秒內有17 個週期 (170HZ) 17

  7. 振盪系統步階響應 單自由度系統運動方程: 利用L-T將微分方程轉換為 s 代數方程，得模型二階與一階具時間延 遲的轉換函數: 這個模型可更精確的描述控制對象的動態特性，靜態 增益 、自然頻率 、阻尼比 與延遲時間 L、時間常數 T。

  8. 平台自然頻率分析

  9. 平台自然頻率分析 鋼: 楊氏系數:2e11Pa 普松比:0.3 密度:7850kg/m^3 單位系統: SI制

  10. 平台自然頻率分析 模擬結果 (約180HZ) 敲擊測試 (186HZ) 2 1

  11. 平台靜態增益分析 (Ks)

  12. 靜態增益分析(Ks)

  13. 平台靜態增益分析(Ks) 單位系統:SI制 ※

  14. 平台靜態增益分析(Ks) 靜態增益(Ks) ，當 s=0時， 所以

  15. Time constant

  16. Time constant

  17. 阻尼比 (damping ratio)

  18. 阻尼比 (damping ratio) step1. step2. 將Max (peak) - 基準值=所要的值 step3.

  19. 阻尼比 (damping ratio) 1 2 3

  20. 系統模型 (plant) 180HZ =1130.4 rad/s 0.025 秒 0.088um/N 0.0824 描述平台動態特性

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