1 / 10

Исследование влияния топологии КМОП-совместимого элемента Холла на его магниточувствительность

Исследование влияния топологии КМОП-совместимого элемента Холла на его магниточувствительность. Ю.А. Чаплыгин, Т.Ю. Крупкина , А.Ю. Красюков , Е.А. Артамонова Национальный исследовательский университет «МИЭТ». Содержание. Введение Исходная структура и топология элемента Холла

daphne-burris
Télécharger la présentation

Исследование влияния топологии КМОП-совместимого элемента Холла на его магниточувствительность

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Исследование влияния топологии КМОП-совместимого элемента Холла на его магниточувствительность Ю.А. Чаплыгин, Т.Ю. Крупкина, А.Ю. Красюков, Е.А. Артамонова Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

  2. Содержание • Введение • Исходная структура и топология элемента Холла • Расчет чувствительности и сопротивления элемента Холла c топологией SNWELL • Расчет чувствительности и сопротивления элемента Холла c модифицированной топологией SNWELL1-3 • Обобщение результатов моделирования • Заключение

  3. Bведение • Интегральные элементы Холла широко используются в системах промышленного контроля, интеллектуальных приборах, потребительской электронике и др. • КМОП-совместимые элементы Холла могут формироваться кармане N-типа, который имеет высокую степень легирования, что приводит к снижению магниточувствительности • В работе исследуется влияние топологии N-кармана на и магниточувствствительность КМОП-совместимого элемента Холла с использование м средств приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD

  4. Элемент Холла. КМОП 0.6 мкм Топология и 1D-распределения примеси имеющихся n-карманов Параметры карманов

  5. Расчет чувствительности Чувствительность, В=5мТл 3D модель элемента Холла на основе n-кармана SNWELL Расчетная чувствительность и сопротивление элемента Холла. S=236 В/(А·Tл); R = 3.615 кОм.

  6. Модификация топологии

  7. Элемент Холла SNWELL1 Модифицированная топология и 3D-модель Расчетные значения: S = 840 В/(А·Tл); R=14 кОм.

  8. Элемент Холла SNWELL2-3 Топология SNWELL2 Параметры кармана при имплантации через маску SNWELL2

  9. Обобщение результатов Зависимость чувствительности и сопротивления элемента Холла по току от концентрации примеси в кармане для разной топологии

  10. Заключение • Проведено исследование зависимости магниточувствительности элемента Холла, сформированного по КМОП-технологии с проектными нормами 0.6 мкм, от его топологии. • Исследование позволяет сделать вывод, что модификация традиционной крестообразной топологии элемента Холла способствует увеличению его относительной магниточувствительности по току с 236 до 1500 В/(А·Тл) без внесения изменений в стандартный технологический КМОП-процесс.

More Related