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デジタルマスフローコントローラ ＣＭＱシリーズ

デジタルマスフローコントローラ ＣＭＱシリーズ. １．概要 ２．特長 ３．制御特性 ４．機能 ５．主な機能の動作説明. １．概要. デジタルマスフローコントローラ ＣＭＱシリーズ 一般産業市場にて要求される、高速応答、広い流量制御範囲、低圧供給ガスでの制御などの性能や多彩な機能を備えた、今までにない 高性能・高機能 のデジタルマスフローコントローラ 超高速応答・高感度の「 μ Ｆセンサ」、「比例ソレノイドバルブ」、「高度な流量制御技術」の三つを一体化して実現！. 図．１　ＣＭＱシリーズの外観. 図．２　ＣＭＱシリーズの内部構造. 図．３　構成ブロック図.

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デジタルマスフローコントローラ ＣＭＱシリーズ

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Presentation Transcript

  1. デジタルマスフローコントローラＣＭＱシリーズデジタルマスフローコントローラＣＭＱシリーズ １．概要 ２．特長 ３．制御特性 ４．機能 ５．主な機能の動作説明

  2. １．概要 デジタルマスフローコントローラ ＣＭＱシリーズ 一般産業市場にて要求される、高速応答、広い流量制御範囲、低圧供給ガスでの制御などの性能や多彩な機能を備えた、今までにない高性能・高機能のデジタルマスフローコントローラ 超高速応答・高感度の「μＦセンサ」、「比例ソレノイドバルブ」、「高度な流量制御技術」の三つを一体化して実現！

  3. 図．１　ＣＭＱシリーズの外観

  4. 図．２　ＣＭＱシリーズの内部構造

  5. 図．３　構成ブロック図

  6. ２．ＣＭＱの特長 ・高速流量制御 　　　　制御応答性：０．５秒以下 ・広い制御範囲 　　　　１～100%FS ・低差圧動作 　　　　低差圧(0.05MPa以下)でも動作を保証 ・設定・表示部を標準装備 　　　　一体形表示モデル・分離形表示モデルをラインナップ 　　　　電源以外の電気配線なしでも動作可能 ・多彩な機能 　　　　１０種類以上の機能を標準装備 ・単一電源動作（ＤＣ１５～２４Ｖ） 　　　　安価な汎用電源が使用可能（±１５Ｖ専用電源は不要）

  7. ３．ＣＭＱの制御特性（他社との比較） SP 20L/min 16L/min 12L/min 8L/min 4L/min ↑制御開始 →｜１秒｜← ↑制御開始 →｜１秒｜← （ａ）他社ＭＦＣ （ｂ）山武ＣＭＱ００２０ 図４　スタート時の制御流量特性１ (ΔP=0.05MPa、横軸：1s/div、縦軸：20%FS/div）

  8. SP 20L/min 16L/min 12L/min 8L/min 4L/min ↑制御開始 →｜１秒｜← ↑制御開始 →｜１秒｜← （ａ）他社ＭＦＣ （ｂ）山武ＣＭＱ００２０ 図５　スタート時の制御流量特性２ (ΔP=0.3MPa、横軸：1s/div、縦軸：20%FS/div）

  9. SP 20L/min 12L/min 4L/min →｜１秒｜← →｜１秒｜← （ａ）他社ＭＦＣ （ｂ）山武ＣＭＱ００２０ 図６　圧力変動時の制御流量特性 (ΔP=0.30MPa→0.27MPa→0.30MPa、 　　　 横軸：1s/div、縦軸：20%FS/div）

  10. ４．ＣＭＱの機能 ・流量積算機能（最大８桁） 　　　ＣＭＱ９５００：0.00L～999,999.99L 　　　ＣＭＱ０００２： 0.0L～9,999,999.9L ・異常検出機能（異常表示/出力/バルブ自動閉止） 　　　制御流量異常、バルブ駆動電流異常、自己診断による異常 ・イベント出力（２出力） 　　　流量ＯＫ出力、積算カウントアップ出力、動作モード出力、他 ・バルブ自動閉止機能 　　　異常検出時、積算カウントアップ時に自動的にバルブを閉止 ・バルブ強制開閉機能 　　　ＲＵＮキー操作、外部切替入力により強制全閉・全開が可能 ・バルブ駆動電流モニタ/異常検出 　　　供給圧力の低下やバーナノズルの目詰まり検出が可能

  11. ・マルチ設定機能（最大４種類） 　　　最大４種類の流量設定を外部切替入力にて瞬時に変更可能 ・ダイレクト設定機能（ＥＮＴキー操作なしでの設定変更） 　　　試運転時の設定流量調整など頻繁に設定変更するときに便利 ・スロースタート機能（約１～６秒） 　　　制御開始時、設定変更時の流量の急激な変化を抑制 ・ガス種類切り替え機能（標準対応ガスの場合） 　　　使用するガス種類をキー操作にて簡単に選択可能 ・ガス種類補正係数設定機能（標準対応ガス以外の場合） 　　　特殊ガス・混合ガスにも補正係数（コンバージョンファクタ）を 　　　設定すれば対応可能 ・ＲＳ－４８５通信機能（オプション） 　　　全ての表示/設定内容を通信にて読み出し/書き込み可能

  12. ５．主な機能の動作説明 （１）流量ＯＫ出力（イベント出力） （２）流量偏差アラーム検出 （３）バルブ駆動電流アラーム検出 （４）マルチ設定機能

  13. （１）流量ＯＫ出力 PV OK判定範囲 OK判定ﾋｽﾃﾘｼｽ SP0 SP1 t 制御開始 OFF OK出力 ON t SP変更(SP0→SP1)

  14. （２）流量偏差アラーム検出 PV 偏差ｱﾗｰﾑ上限ﾋｽﾃﾘｼｽ 偏差ｱﾗｰﾑ上限 SP 偏差ｱﾗｰﾑ下限 偏差ｱﾗｰﾑ下限ﾋｽﾃﾘｼｽ 流量低下 ｱﾗｰﾑ判定ﾃﾞｨﾚｲ時間 t ｱﾗｰﾑ出力 OFF ON t

  15. （３）バルブ駆動電流アラーム検出 供給圧力 ①供給圧力低下 ②駆動電流上昇 t バルブ駆動電流 100% ｱﾗｰﾑ上限 ｱﾗｰﾑ判定ﾃﾞｨﾚｲ時間 ｱﾗｰﾑ下限 0% t ｱﾗｰﾑ出力 OFF ON t

  16. DI1 DI2 SP0 OFF OFF SP1 ON OFF SP2 OFF ON SP3 ON ON （４）マルチ設定機能 PV SP3 SP2 SP1 SP0 t OFF DI1 ON t OFF DI2 ON t

  17. 図７　バーナ空燃比制御でのアプリケーション例図７　バーナ空燃比制御でのアプリケーション例

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