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計畫名稱 : 1. 多孔性鈦及鈦合金氣體吸收膜製作與其性質研究 (NSC 95-2221-E-230-008)

計畫名稱 : 1. 多孔性鈦及鈦合金氣體吸收膜製作與其性質研究 (NSC 95-2221-E-230-008) 2. 以 ( B,Al )N/ 鑽石之結構製作新式表面聲波濾波器元件之研究 (NSC 98-2221-E-230-004) 3. 反應式電漿濺鍍氮化鈧鋁於鑽石基材上的薄膜特性與壓電性質之研究 (NSC 100-2221-E-230-002). 融入課程名稱 : 碩士班「光電元件」 融入課程單元 : 專題報告 授課教師 : 李丁福.

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計畫名稱 : 1. 多孔性鈦及鈦合金氣體吸收膜製作與其性質研究 (NSC 95-2221-E-230-008)

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  1. 計畫名稱:1.多孔性鈦及鈦合金氣體吸收膜製作與其性質研究(NSC 95-2221-E-230-008) 2.以(B,Al)N/鑽石之結構製作新式表面聲波濾波器元件之研究(NSC 98-2221-E-230-004) 3.反應式電漿濺鍍氮化鈧鋁於鑽石基材上的薄膜特性與壓電性質之研究(NSC 100-2221-E-230-002) 融入課程名稱:碩士班「光電元件」 融入課程單元:專題報告 授課教師: 李丁福

  2. 1.多孔性鈦及鈦合金氣體吸收膜製作與其性 質研究:為95年度國科會計畫案之研究成果，本研究以濺鍍法成長多孔鈦鋯釩薄膜，並探討鍍膜參數(工作壓力、濺射角度及濺射距離)對整體鍍層之成份、微結構和氣體吸附性性質之影響。藉由控制鍍膜製程的工作壓力及濺鍍角度，可得到成分與靶材相近的鈦鋯釩合金、膜層為奈米柱狀晶構成的高孔隙度結構，明顯提高了薄膜整體的比表面積。

  3. 本研究製作的鈦鋯釩薄膜活化溫度可降低至250℃，顯示多孔之鈦鋯釩薄膜很適用作為晶片式封裝的氣體吸收薄膜應用。本研究製作的鈦鋯釩薄膜活化溫度可降低至250℃，顯示多孔之鈦鋯釩薄膜很適用作為晶片式封裝的氣體吸收薄膜應用。 除了以此文章說明特出的實驗結果，另外亦經由同學對英文著作的研讀，與上課時對整體架構的分析，說明了科技論文之主要內容，包括題目、摘要、簡介 、實驗方法、結果與討論---則是該文章最重要的部分，當然最後的參考文獻也是不可忽視，事實上從文獻引用的是否恰當及份量，就可決定整個實驗與計畫之好壞，也是同學必修之首要!

  4. 2.以(B,Al)N/鑽石之結構製作新式表面聲波 濾波器元件之研究: 為98年度國科會計畫案之研究成果，本研究藉由於鑽石基板上沉積C軸取向晶氮化硼鋁薄膜，進一步提升表面聲波濾波器的操作頻率與性質，結果顯示，C軸取向晶氮化硼鋁薄膜擁有比氮化鋁薄膜更高的壓電係數與揚氏係數，而且，C軸取向晶氮化硼鋁薄膜的高剛性確實可進一步的提升鈮酸鋰與鑽石表面聲波濾波器元件的操作頻率。另外 ，氮化硼鋁薄膜/鑽石結構的元件其中心頻率與表面聲波速率分別高達4.43 GHz與8860 m/s。

  5. 3.反應式電漿濺鍍氮化鈧鋁於鑽石基材上的 薄膜特性與壓電性質之研究: 為100年度國科會計畫案之研究成果，乃利用雙靶共鍍濺鍍氮化鈧鋁薄膜於鑽石基板上，並找到具有A 軸取向之製程參數，以有效提升薄膜壓電係數值至4.93 pC/N，並利用快速退火機制提升薄膜結晶性及壓電係數至8.1pC/N，此值為c軸氮化鋁(1.8 pC/N)之四倍，應可作為高溫使用之新型高壓電係數材料。 再次以另一篇研究過程與成果解說，讓同學了解進行碩士學程所應有的知識。

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