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雷射位移計

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雷射位移計

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  1. 雷射位移計

  2. 前言 雷射有異於普通光的特色,其特性如下: • 指向性 • 單色性 • 相干性 • 反射定律與折射定律

  3. 雷射位移檢測系統

  4. 雷射位移檢測器 KEYENCE LC-2100雷射位移計

  5. 雷射位移檢測原理與特性 重要名詞定義: 量測範圍(Measurement Range, MR) : 量測距離(Stand Off Distance;SO) : SO處光點的尺寸 (Spot size at SO): SO處角度(Triangulation Angle at SO):

  6. 雷射位移檢測原理與特性 • 三角量測法 • 自動對焦 • 音叉結合振動

  7. 三角量測法 三角雷射探頭

  8. 三角量測法 差動信號

  9. 三角量測法 三角量測法

  10. 三角感測器的性能因素 • 幾何因素(Geometry Factor) • 三角量測角度(Triangulation Angle): • 光源的型式(Light Source Types): • 光點大小(Spot Size): • 物體表面的影響(Surface Effects): • 偵測器的種類(Detector Types):

  11. 三角感測器的性能因素(續) • 幾何因素(Geometry Factor) 感測器遮蔽

  12. 三角感測器的性能因素(續) • 三角量測角度(Triangulation Angle): 裝置雙感應器

  13. 三角感測器的性能因素(續) • 光源的型式(Light Source Types): 裝置濾光片

  14. 三角感測器的性能因素(續) • 光點大小(Spot Size): 光點大小與工件之關係 光點直徑

  15. 三角感測器的性能因素(續) • 光點大小(Spot Size): 光點垂直工件表面

  16. 三角感測器的性能因素(續) • 物體表面的影響(Surface Effects): 雷射色飽和度 鏡面反射

  17. 三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types): 位置感測偵測器(Position Sensing Detector; PSD)

  18. 三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types): CCD偵測器(CCD Detector)構造示意圖

  19. 三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types): 依據門檻值過濾雜訊

  20. 三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types): 位置感測檢測器基本原理

  21. 三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types): PSD與CCD型感測器的不同

  22. 三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types): 線雷射感測器構造示意圖

  23. 三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types): PSD與CCD型感測器的不同

  24. 雷射奈米檢測器(Laser Nano Sensor; LSN) 雷射奈米檢測器屬高精密檢測設備 雷射奈米檢測系統

  25. 雷射奈米檢測器(續) 自動對焦原理 實物 構造圖

  26. 雷射奈米檢測器(Laser Nano Sensor; LSN) 音叉/振動裝置 構造圖 原理

  27. 精密機械結構 • 花崗岩機台 • 氣體軸承 • 氣體潤滑導軌

  28. 精密機械結構(續) • 花崗岩機台

  29. 精密機械結構 • 氣體軸承

  30. 精密機械結構 • 氣體潤滑導軌

  31. 雷射位移檢測技術之應用 • 逆向工程

  32. 雷射位移檢測技術之應用(續) • 台灣模型

  33. 雷射位移檢測技術之應用(續) • 獎牌模型

  34. 雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測

  35. 雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測 導線架腳位高低差

  36. 雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測 拉鍊沖頭

  37. 雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測 DVD光學模具

  38. 雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測 背光版V溝模具

  39. 結論 • 雷射位移計是精密檢測經常使用的一種技術 • 影響量測精度因素 • 傳統三角量測法演進至音叉/振動裝置、自動對焦