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晶圓製程

光罩. 晶圓製程. 材料. 測試. 晶圓. 微影製程. 加熱 製程. 介電質沉積. 封裝. 光罩. 離子佈植與光阻剝除. 最後測試. 設計. 無塵室生產廠房. 化學機械研磨. 金屬化. 蝕刻與光阻剝除. www.ele.ksu.edu.tw/chtsai/cai/ 超大型積體電路設計 - 電子 3A/Chapter%2001. ppt. 資料來源 科學報導 點矽成金. 3. 顯微鏡下的 IC 一角.

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晶圓製程

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Presentation Transcript

  1. 光罩

  2. 晶圓製程 材料 測試 晶圓 微影製程 加熱 製程 介電質沉積 封裝 光罩 離子佈植與光阻剝除 最後測試 設計 無塵室生產廠房 化學機械研磨 金屬化 蝕刻與光阻剝除 • www.ele.ksu.edu.tw/chtsai/cai/超大型積體電路設計-電子3A/Chapter%2001.ppt

  3. 資料來源 科學報導 點矽成金 3

  4. 顯微鏡下的IC 一角 • 游振忠/半導體工廠實務管理/cca.yuntech.edu.tw/94ccaedu/text/管理實務/0319上午課程4.ppt 4

  5. 什麼是光罩(Mask)？

  6. Reviewing Circuit Diagram Reviewing Circuit Diagram BTE0006 (Corbis Royalty Free Photograph) （http://www.fotosearch.com/corbis/business-technology/DGT162/） 6

  7. Circuit Mask and Technician BTE0015 (Corbis Royalty Free Photograph) （http://www.fotosearch.com/corbis/business-technology/DGT162/） 7

  8. Circuit Mask Review Circuit Mask Review BTE0008 (Corbis Royalty Free Photograph) （http://www.fotosearch.com/corbis/business-technology/DGT162/） 8

  9. 什麼是光罩(Mask)？ What is Photomasks - 何謂光罩 光罩(Mask) – 電路設計圖的幾何圖形縮小版. • 利用電子束刻在石英片上. A Photomask (also known as Mask, Plate, Layer, or Reticle) is a high precision plate containing microscopic images of electronic circuits.It is used as a media with contract Opaque (DARK) / Transparency (CLEAR) ) to transfer the image onto the substrate. • http://opto-equipment.etrading.com.tw/Photomasks/whatis.htm

  10. 想在晶片（或稱作基板）上做一條銅線，先要準備一塊光罩（mask），上面有這條銅線的圖案。這光罩是用玻璃或石英製造的，在它上面不透光的部分鍍有一層金屬鉻。想在晶片（或稱作基板）上做一條銅線，先要準備一塊光罩（mask），上面有這條銅線的圖案。這光罩是用玻璃或石英製造的，在它上面不透光的部分鍍有一層金屬鉻。 • http://203.68.20.65/science/content/1999/00030351/0008.htm

  11. 光罩　Mask。Reticle。 生產晶片的模具稱為光罩。當IC設計公司設計出一款晶片電路圖之後，光罩公司製作成光罩，再送至晶圓代工廠進行晶圓代工，封裝、測試後，便成為一顆顆的IC晶片。 • http://fund.bot.com.tw/z/template/glexp_3602.asp.htm

  12. 光罩是生產LCD在玻璃上蝕刻電路圖案的曝光製程中，使用的1種類似薄膜的物質；是將光罩貼合於玻璃上，再投射光，便可形成所需電路。在製造1片LCD過程中，係視使用光罩的次數，來區分4道光罩或5道光罩製程。光罩是生產LCD在玻璃上蝕刻電路圖案的曝光製程中，使用的1種類似薄膜的物質；是將光罩貼合於玻璃上，再投射光，便可形成所需電路。在製造1片LCD過程中，係視使用光罩的次數，來區分4道光罩或5道光罩製程。 • http://tech.digitimes.com.tw/ShowNews.aspx?zCatId=642&zNotesDocId=11AF6F18AAFA874D482571710042F7AE

  13. 光罩和倍縮光罩 圖片提供: SGS Thompson • www.ele.ksu.edu.tw/chtsai/cai/超大型積體電路設計-電子3A/Chapter%2001.ppt

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