250 likes | 820 Vues
№ 1. Обеспечение радиационной стойкости СБИС космического применения на уровне более 6Ус в базовых технологических процессах, реализованных в НИИСИ РАН. Морозов Сергей Алексеевич. НИИСИ РАН. № 2.
E N D
№ 1 Обеспечение радиационной стойкости СБИС космического применения на уровне более 6Ус в базовых технологических процессах, реализованных в НИИСИ РАН Морозов Сергей Алексеевич НИИСИ РАН
№ 2 В НИИСИ РАН разработаны КМОП базовые технологические процессы с проектными нормами 0,5 мкм, 0,35 мкм и 0,25 мкм на основе структур «кремний на изоляторе». Для этих процессов последовательно разработаны в период с 2005 г. по настоящее время библиотеки, предназначенные для автоматизированного проектирования радиационно-стойких цифровых СБИС, в том числе космического применения, в среде САПР CADENCE и SYNOPSYS. Соответствие требованиям стойкости к воздействию специальных факторов достигнуто комплексом технологических и топологических решений базовых элементов СБИС (транзисторов и др.), обеспечивающие минимальную деградацию параметров (сдвиг пороговых напряжений, ток в режиме насыщения и утечки) во время и после воздействия специальных факторов. НИИСИ РАН
№ 3 Основные характеристики библиотеки базовых технологических процессов НИИСИ РАН
№ 4 Выбор специальных технологических и конструктивных решений элементов нижнего уровня обеспечивает выполнение экстремальных требований по дозовой стойкости НИИСИ РАН
№ 5 ПРОБЛЕМЫ И ИХ РЕШЕНИЯ Подавление утечек боковых транзисторов - специальные топологические решения и технология формирования активных островков Подавление утечек нижнего (донного) транзистора – специальная технология формирования карманов Модели транзисторов сложных форм– ТCAD трехмерное моделирование Разработка специальных схемных решений элементов библиотек– специальные приемы подавления импульсных помех при влиянии ТЗЧ НИИСИРАН
№6 Конструктивно-технологический базис (транзисторы) БЭП-С, КНИ-05ЭС,КНИ-035С, КНИ-025С «Н»-транзистор «O»-транзистор «А»-транзистор КНИ-025ЭС «НM»-транзистор «ОН»-транзистор «О»-транзистор НИИСИ РАН
№ 7 Конструктивно-технологический базис (элементы ядра) БЭП-С: высота элементов16 мкм КНИ-05ЭС: высота элементов 18 мкм КНИ-035С: высота элементов 13 мкм INV AND2 Скан-триггер НИИСИ РАН
№ 8 Конструктивно-технологический базис (элементы ядра) КНИ-025С: высота элементов8,8 мкм КНИ-025ЭС: высота элементов7,2 мкм INV AND2 Скан-триггер НИИСИ РАН
№ 9 Конструктивно-технологический базис (элементы ввода-вывода) БЭП-С КНИ-05ЭС КНИ-035С КНИ-025С, КНИ-025ЭС (0,1×0,32 мм2) (0,1×0,38 мм2) (0,17×0,31 мм2) (0,08×0,37 мм2) НИИСИ РАН
Характеристики элементов (по результатам испытаний) № 10 НИИСИ РАН
№ 11 СФ-блоки КНИ-025С :КНИ-025ЭС: 1. СОЗУ 8К×8 1.2-х портовое СОЗУ 8К×8 2. 32-разрядный сумматор 2.масочное ПЗУ 8К×8 3. 16×16 умножитель 3. 32/16 делитель 4. 32-разрядный полный 4. 32-х разрядный сдвигательприоритетный шифратор 5. SPI интерфейс 5. I2С интерфейс 6. UART интерфейс 6. 32-х разрядное устройство извлечения квадратного корня НИИСИ РАН
№ 12 КНИ-025С: СФ-блоки СОЗУ 8К×8 (2,6 мм2) ADDER32 (0,05 мм2) SHIFTER32 (0,08 мм2) НИИСИ РАН
№ 13 КНИ-025С: СФ-блоки SPI-интерфейс (0,04 мм2) 16x16 умножитель (0,3 мм2) UART-интерфейс (0,2 мм2) НИИСИ РАН
№ 14 КНИ-025ЭС: СФ-блоки ПЗУ 8К×8 (2,6 мм2) двухпортовое СОЗУ 8К×8 (5,4 мм2) НИИСИ РАН
КНИ-025ЭС: СФ-блоки № 15 PEN (0,01 мм2) I2С-интерфейс (0,12 мм2) sqrt (0,09мм2) divider (0,07 мм2) НИИСИ РАН
№ 16 Подтвержденные испытаниями уровни стойкости . Факторы с характеристиками 7.И Факторы с характеристиками 7.С и 7.К Время потери работоспособности элементов библиотек после воздействия фактора с характеристикой 7.И6 не превышает 0,2 мс. НИИСИ РАН
№ 17 Параметры сбоеустойчивости КНИ-025С • СОЗУ (при воздействии факторов 7.К11(7.К12)): • - пороговые ЛПЭ: LTH.ОС ≈ 5 МэВ×см2/мг; • - сечение насыщения: SI.ОС ≈ 2×10-3см2/(блок); • - сечение насыщения в пересчете на 1 бит: SI.ОС ≈ 3×10-8см2/бит. • при воздействии факторов 7.К9 (7.К10) - пороговая энергия: ETH.ОС ≈ 20 МэВ; • - сечение насыщения: SP.ОС ≤ 8×10-16 см2/бит. • 16×16 умножитель (при воздействии факторов 7.К11(7.К12)): • - пороговые ЛПЭ: LTH.ОС ≥ 69 МэВ×см2/мг; • при воздействии факторов 7.К9 (7.К10) • сбои отсутствуют НИИСИ РАН
№ 18 • Параметры сбоеустойчивостиКНИ-025ЭС • Двухпортовое СОЗУ (при воздействии факторов 7.К11(7.К12)): • - пороговые ЛПЭ: LTH.ОС ≈ 12 МэВ×см2/мг; • - сечение насыщения: SI.ОС ≈ 2×10-3см2/(блок); • - сечение насыщения в пересчете на 1 бит: SI.ОС ≈ 3×10-8см2/бит. • при воздействии факторов 7.К9 (7.К10) - пороговая энергия: ETH.ОС ≈ 40 МэВ; • - сечение насыщения: SP.ОС ≤ 1×10-15 см2/бит. • Масочное ПЗУ (при воздействии факторов 7.К11(7.К12)): • - пороговые ЛПЭ: LTH.ОС ≥ 69 МэВ×см2/мг; • при воздействии факторов 7.К9 (7.К10) • сбои отсутствуют • I2Cинтерфейc (при воздействии факторов 7.К11(7.К12)): • - пороговые ЛПЭ: LTH.ОС ≈ 16 МэВ×см2/мг; • - сечение насыщения в пересчете на 1 бит: SI.ОС ≈ 4×10-8см2/бит. НИИСИ РАН
№ 19 Практические результаты (1) НИИСИ РАН
№ 20 Практические результаты (2) НИИСИ РАН
№ 21 Библиотека КНИ-025С, базовый технологический процесс КМОП КНИ 0,25 мкм) ОКР "Схема-6" микросхема 1907КХ018 (Коммутатор RapidIO)ОКР "Обработка-1" микросхема 1907ВМ014 (микропроцессор)ОКР "Обработка-2" микросхема 1907ВМ028 (микропроцессор)ОКР "Обработка-10" микросхема 1907ВМ044 (микропроцессор)ОКР "Схема-10" микросхема 1907ВМ038 (микропроцессор) Библиотека КНИ-025ЭС,базовый технологический процесс КМОП КНИ 0,25 мкм) ОКР «Засечка-3" микросхема 1664РУ1Т (СОЗУ 512К×8 бит) микросхема 9004РУ1Т (СОЗУ 512К×16 бит) микросхема 9004РУ2Т (СОЗУ 512К×32 бит) НИИСИ РАН
№ 22 Эффективное решение проблем производства СБИС космического применения с экстремальным уровнем стойкости 1. Глубокое понимание радиационных эффектов в материалах и структурах, формируемых в каждом технологическом процессе. 2. Специальное проектирование СБИС, ориентированное на высокие уровни радиационных воздействий (Design for RadHard – использование соответствующих правил проектирования, know-how в части схемных и конструктивно-технологических решений, верифицированных библиотек стандартных элементов) 3. Изготовление в высокостабильных технологических процессах, которым присвоена Литеране ниже «О1» НИИСИ РАН
№ 23 Заключение 1. Применение верифицированных конструктивно-технологических решений в библиотеках позволяет обеспечивать стабильный уровень характеристик стойкости к воздействию специальных факторов, независимо от функционального назначения разрабатываемых СБИС. 2. Накопленный НИИСИ РАН научный и практический опыт позволяет уверенно говорить о возможности обеспечить разработку и изготовление СБИС космического применения на уровне более 6Ус в базовых технологических процессах, реализованных в НИИСИ РАН. 3. Необходима концентрация усилий по формированию единой технической политики в области обеспечения космической аппаратуры современной элементной базой НИИСИ РАН
№ 24 Спасибо за внимание. Контактная информация: тел. +7(495)7370606 доб. 205 факс +7(495)7370607 НИИСИ РАН