1 / 21

Lesz-e szilíciumon világító dióda? Horváth Zsolt József Óbudai Egyetem ,

Lesz-e szilíciumon világító dióda? Horváth Zsolt József Óbudai Egyetem , Kandó Kálmán Villamosmérnöki Kar, Mikroelektronikai és Technológiai Intézet MTA Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet. A kérdés „Lesz-e szilíciumon világító dióda?” Nem egyértelmű:

marin
Télécharger la présentation

Lesz-e szilíciumon világító dióda? Horváth Zsolt József Óbudai Egyetem ,

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Lesz-e szilíciumon világító dióda? Horváth Zsolt József Óbudai Egyetem, Kandó Kálmán Villamosmérnöki Kar, Mikroelektronikai és Technológiai Intézet MTA Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet

  2. A kérdés • „Lesz-e szilíciumon világító dióda?” • Nem egyértelmű: • - Lesz-e szilíciumból készült világító dióda? • Lesz-e szilícium hordozón készült világító dióda? • Széleskörű kutatások folynak mindkét területen. • Si indirekt sávú félvezető, alkalmatlan LED létrehozására. • MIÉRT kutatják?

  3. Motiváció 1., CMOS logikai IC-k disszipációja A frekvencia nem növelhető tovább a disszipáció miatt: P ~ f, CL. A blokkokat összekötő vonalak nagy kapacitásúak és sok helyetfoglalnak. Optikai csatolás a blokkok között: CMOS áramkörökbe integrálható LED-ek és detektorok – technológiai kompatibilitás.

  4. Motiváció • 2., System-On-Chip – különböző funkciók integrációja egyetlen csipen. • Szükség van : • optikai adatátvitelre, • optikai csatolókra, • hullámvezetőkre, • - optikai és mechanikai érzékelőkre.

  5. Kutatási irányok • Si-alapú LED-ek • pórusos szilícium – 90-es években • Si nanokristályok szigetelőkben • lavina pn és pnp diódák • MIS diódák • Nem Si alapú LED-ek Si hordozón

  6. Eredmények Si LED-ek Si nanokristályos szerkezetek Si nanokristályok SiO2-ben J. De la Torre et al., Physica E 17 (2003) 604

  7. Si nanokristályok SiNx-ben Cho et al.Appl. Phys. Lett. 86 (2005) 071909

  8. Mechanizmus • Si nanokristály - indirekt. • Electrolumineszcencia szobahőmérsékleten. • Magyarázat: lumineszcens centrumok a NK/szigetelő határfelületen. • Gerjesztés: • elektron és lyuk injekció alagutazással vagy a hibahelyeken keresztül • - lumineszcens centrumok gerjesztése forró elektronokkal.

  9. Ritka földfém adalékolás hatása • Irrera et al., Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 216 (2004) 222 • Adalékolatlan Erbium Túlium

  10. Nanokristály növesztés Ionsugaras szintézis Szilíciumban gazdag szigetelőréteg leválasztása és hőkezelése. Rétegenkénti leválasztás és hőkezelés (1100 Co). CVD – nem kell utólagos hőkezelés. Ionsugaras szintézis SiO2-ben P. Normand et al. , Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 216 (2004) 228

  11. CVDSiO2-ben és Si3N4-ben Y.-H. Wu et al., Electrochem. Solid-State Lett., 11 (2008) H131. P. Basa, et. al., Physica E, 38, (2007) 71.

  12. Eredmények Si LED-ek pnp lavina dióda L. W. Snyman, et al., IEEE J. QUANTUM ELECTRONICS, 46, (2010 ) 906.

  13. pnp lavina dióda L. W. Snyman, et al., IEEE J. QUANTUM ELECTRONICS, 46, (2010 ) 906.

  14. Eredmények Si LED-ek MIS dióda S. Kuai, A. Meldrum,/ Physica E 41 (2009) 916. dox=1-2 nm

  15. MIS dióda Mechanizmus: Nyitó irány: az injektált elektron rekombinácója. Záró irány: lavina letörés. S. Kuai, A. Meldrum, Physica E 41 (2009) 916

  16. Eredmények Nem Si alapú LED-ek Si hordozón GaAs/AlGaAs nanoszálas LED Katsuhiro Tomioka et al., Nano Lett., 10, (2010), 1639.

  17. GaAs/AlGaAsnanoszálas LED Katsuhiro Tomioka et al., Nano Lett., 10, (2010), 1639.

  18. Eredmények Nem Si alapú LED-ek Si hordozón ZnO nanoszálas LED Y. He et al., J. Nanopart. Res. (2010) 12, 169.

  19. Eredmények Nem Si alapú LED-ek Si hordozón Ballisztikus LED B. Gelloz et al., Jpn. J. Appl. Phys., 47, (2008) 2902.

  20. Válasz a kérdésre „Lesz-e szilíciumon világító dióda?” Valószínűleg lesz a System-On-Chip keretében. Világításra nem fogják használni.

  21. Köszönöm a figyelmet!

More Related