潔淨室簡介和運用

作成：郭旭昌&郭晉源 潔淨室簡介和運用

潔淨室：Clean Room 又名無塵室或清淨室 定義：將一定空間範圍內空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，並將室內之溫濕度、潔淨度、壓力、氣流速度和氣流分佈、噪音、振動、照明及靜電等，控制在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間（空間）。運用場所：半導体業、醫藥、食品界、光電業…等 1.何謂潔淨室

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子 2、能防止微粒子之產生 3、溫度和濕度之控制 4、壓力之調節 5、有害氣体之排除 6、結構物和隔間之氣密性 7、靜電之防制 8、電磁干擾之預防 9、安全因素之考慮 10、節能之考量 2.潔淨室須俱備的條件

標準規格：『美國聯邦標準209D潔淨室規格』 3.潔淨室標準規格 (工作桌內) (無塵室內)

潔淨工作台（Clean Bench）：等級Class 1～100級。 4.潔淨工作台過濾器材+風扇裝置高效率過濾網初級濾網保護框 10000級 100級靜電消除探針潔淨工作台 (Clean Bench) 過濾器

5-1.空氣洗塵器(淋塵室)（AIR SHOWER） 5-2.壓力平衡器（Pressure Damper）傳遞箱 (PASS BOX) 腳踏黏墊其他（洗手和烘乾機、真空吸塵器、無塵衣【鞋】放置架、口罩……） 5.潔淨室附屬配件

空氣洗塵器（AIR SHOWER）：利用可調式吹口所吹出的風，將無塵衣表面之Particles吹落。使用方式：人員進入空氣洗塵器內時，須緩慢的旋轉身体，並輕輕拍打衣服，使Particles易於掉落。 5-1.AIR SHOWER 可調式吹口回風口

壓力平衡器（Pressure Damper）：組合型或單一型的潔淨室隔間牆上設置。作用：作為調節潔淨室內外氣壓差，使室內之壓力稍高以避免外界之污染空氣侵入室內。牆壁軸心調壓磁鐵鐵絲網支援桿 5-2.壓力平衡器打開狀態:代表室內壓力大於室外

6-1-1.潔淨室人員進出流程 6-1-2.作業人員動作和污染關係 6-2.原物料設備搬遷流程 6-3.潔淨室內相關規範&機器設備+治工具等  6-3-1.更衣室管理規範、6-3-2.淋塵室管理規範  6-3-3. 無塵室物品管理  6-3-4.滾輪清潔機點檢、6-3-5.黏塵棒及手動滾輪管理  6-3-6.溶劑使用管理、6-3-7.手套、手指套管理  6-3-8.無塵工作桌(clean bench)點檢項目及實施說明將以上各項加以管理，並依計劃、實施追蹤、動作之PDCA循環步驟執行。 6.潔淨室運轉管理

2 5 7 6 8 1 3 9 4 潔淨室腳踏黏墊污染區域空氣洗塵室更鞋更衣室換取室內鞋更換無塵衣戴口罩 6-1-1.潔淨室人員進出流程 9 7~8 空氣洗塵室 1 室內鞋放置區 2 6 3~5 女更衣室更鞋區男更衣室

6-1-2.作業人員動作和污染關係 勿跑步! 1.勿穿著毛類衣服! 2.禁止打開衣服拉鍊取東西

6-2.原物料設備搬遷流程 4 5 8 1 6 2 3 7 9 (P/B) 原物料及設備去除外層包裝初步外部清潔材料投入室外部清潔去除內層包裝清潔原物料或設備表面(20sec) 移入製程區潔淨室指膜片類其餘像膠框＆鋁框等皆在2步驟後執行膜片無塵室材料投入室 P/W P/W 4 1~2 3 5~6 9 8 P/B P/B 7

注意事項： 1.穿著時需站立，不可跪坐於地面穿著 2.避免袖口污染，也不可接觸地面及其他物品 3.穿戴手套時需將手套口塞入袖口內 4.頭罩穿戴時須將頭髮全部收納於頭套裡面不可露出 5.鼻孔不可外露 6.魔鬼氈黏牢、拉鍊拉至定位 7.長褲下端置入長統鞋內 8.更衣室內不可吊掛私人衣物 9.無塵衣顏色須一致毛髮不外露鼻孔不外露魔鬼氈黏牢拉鍊拉至定位袖口完全包覆長褲下端置入長統鞋內拉鍊拉至定位 6-3-1.更衣室管理規範

1.入口和出口的門不可同時打開 注意事項： 2.空氣吹出未停止時，避免將淋塵室側邊的門打開 3.在進入無塵室時，淋塵室的最大容納人數為3人，出來時則不限制 4.在淋塵室內，須於規定位置站立(規定如左圖) 5.空氣沐浴時，須轉動身體、拍打無塵服，以利灰塵吹除 6.空氣沐浴時，雙腳須多次踩踏腳踏黏墊，以利清除鞋底灰塵、異物 7.空氣沐浴時，無塵服不可接觸牆壁、地板 8.Air Shower吹除時間為20Sec/次 9.嚴禁觸動出風口拍打無塵服踩踏腳踏黏墊拍打無塵服 6-3-2.淋塵室管理規範規定位置： 1人 2人 3人

5.飲食品、泡泡糖之類8.衛生紙、手帕類 6.寶石、裝飾品、化妝品類 9.小日記手冊或其他個人物品 7.錢包、鑰匙、手錶類、佛珠、手鍊 3 3 7 4 4 3 4 5 7 9 6 6 9 8 8 7 6-3-3.無塵室物品管理禁止攜入之物品： 1.未經清潔過之器材、備品、測定器等各種物品 2.紙箱、普通未經過特別處理之記錄或筆記用紙張 3.筆記用鉛筆、橡皮擦、鋼筆、墨水、自來水筆等 4.行動電話、BB.Call、香煙、洋火、打火機之類

6-3-3.無塵室物品管理 可攜入之物品：

6-3-4.滾輪清潔機點檢 使用滾輪清潔液擦拭靜電排除針集塵滾筒軸承使用滾輪清潔液擦拭控制鈕勿隨意轉動注意事項： 1.早上及下午上線及休息各做集塵滾筒清潔(2hr/次) 2.作業中若需清潔，可先清潔上集塵滾筒 3.輸送帶( 綠色)要確實裝入，以免膜片受損 4.靜電排除針每週清潔一次( 需先關機再行擦拭 ) 5.清潔時集塵滾筒軸承需確實清潔 6.橡皮筋( 黃色 )應注意勿磨損，如斷裂或磨損時應立即通知生技課人員處理參考文件

3.嚴禁使用其他溶劑清潔 4.黏塵棒有髒污時立即更換(3M膠帶) 5.嚴禁黏塵棒接觸其他物品 6.黏塵墊及手動滾輪於2HR各做一次清潔 7.黏塵墊及手動滾輪如有髒污時應立即清潔 6-3-5.黏塵棒及手動滾輪管理清潔黏墊注意事項: 1.清除異物時，使用黏沾的方式，嚴禁使用擦拭方式 2.手動滾輪作業中以黏清潔黏墊清潔，作業完畢後以滾輪清潔液清潔之大手動滾輪黏著棒小手動滾輪參考文件

注意事項: 1.去漬油(庚烷)：使用在導光板及各膜片上 …擦拭‘’殘膠“ 2.滾輪清潔液：使用在滾輪清潔機、手動滾輪及黏塵墊的擦拭 3.酒精：使用在工作桌的擦拭 4.各溶劑請勿混用 5.嚴禁飲用 6-3-6.溶劑使用管理

1.手套：早上、中午各換一次，若有破損或髒污立即更換1.手套：早上、中午各換一次，若有破損或髒污立即更換 ((破損或髒污定義上比較模糊,故在打掉前找班長確認)) 2. 指套：（1）脫掉後、破損或髒污立即更換（2）組立工程每兩小時更換一次 ((目前手指套套在手套裡面,以防止手指流汗,造成發光面污)) （3）遮光膠帶貼合工程2HR/次（4）作業中如遇手指套或手套破損及髒污時應立即更換髒污立即更換破裂立即更換注意事項: 6-3-7.手套、手指套管理

6-3-8.無塵工作桌(clean bench)點檢項目及實施說明靜電排除棒動作檢查時須檢查是否有異常之聲音出現，如有異音即為異常。(頻度每日/次) 靜電排除棒靜電排除針之清潔須將開關關閉後以乾燥之無塵布（不可沾任何液體）擦拭，或以牙刷之刷毛輕刷靜電排除針之針頭部位，以清除針頭部位上之異物(頻度每週/次)。

檢查接地線是否接妥時須注意接地線之鱷魚夾應與工作桌之金屬網板接妥。(頻度每日/次)檢查接地線是否接妥時須注意接地線之鱷魚夾應與工作桌之金屬網板接妥。(頻度每日/次) 風扇開關打開運轉時應可感覺有氣流流動，同時注意馬達運轉時是否有雜音。(頻度每日/次)

檢查初級濾網是否髒污或破損，如有髒污或破 損須立即更換。(頻度每日/次，更換頻度1年/次) 檢查高效率過濾網是否髒污或破損，如有髒污或破損須立即更換。(檢查頻度每日/次，更換頻度3年/次)

無塵工作箱之箱體內外壁清潔時須以無塵布沾取酒精擦拭乾淨。(頻度為每天上線前)無塵工作箱之箱體內外壁清潔時須以無塵布沾取酒精擦拭乾淨。(頻度為每天上線前) (頻度每日/次) 無塵工作箱之天井內外側清潔時須以無塵布沾取酒精擦拭乾淨。(頻度為每天上線前)

無塵工作箱之桌體支架清潔時須以無塵布沾取酒精擦拭乾。(頻度為每天上線前)無塵工作箱之桌體支架清潔時須以無塵布沾取酒精擦拭乾。(頻度為每天上線前) 無塵工作箱之作業平台清潔時須以無塵布沾取酒精擦拭乾淨。(頻度為每天上線前) 投影片 28參考文件

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附件二-黏塵棒殘繞手順 參考文件

附件三 回本頁

附件四 比較

以上謝謝大家

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