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Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse

Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse. Forum a nalytica. München, 18.04.012. Johannes Kaindl. Sales Manager Materialmikroskopie. Agenda. 1. Technischer Hintergrund. 2. Umsetzung. 3. 4. 5. 6. 7. 8. Agenda. 1. Technischer Hintergrund. 2.

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Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse

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  1. Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse Forum analytica München, 18.04.012 Johannes Kaindl Sales Manager Materialmikroskopie

  2. Agenda 1 Technischer Hintergrund 2 Umsetzung 3 4 5 6 7 8 Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

  3. Agenda 1 Technischer Hintergrund 2 Umsetzung 3 4 5 6 7 8 Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

  4. nm Korrelative MikroskopieHintergrund • Wunsch • Stufenloses „Eintauchen“ • Wirklichkeit • Auflösungsgrenze in der Lichtmikroskopie • Höhere Auflösung:Rasterelektronenmikroskope • Andere Technologie, andere Gerätetechnik • Folge • Systemwechsel nötig  Orientierung auf der Probe geht verloren • Zeitaufwändiges Suchen der interessierenden Bereiche µm Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

  5. Korrelative MikroskopieHintergrund • Lichtmikroskop • Helligkeitskontrast • Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche bzw. Objekte nur über Helligkeit und Farbe • Rasterelektronenmikroskop • Materialkontrast • „Chemie“ • Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

  6. EM LM (X,Y)1,2…n Problem: Relokalisierung • Schnelle Lokalisierung unter dem Lichtmikroskop • Direkter Blick auf die Probe • Livebild • Schwierig: Wiederfinden einer Stelle im Rasterelektronenmikroskop • Vergleichsweise langsamer Bildaufbau • Höhere Auflösung • Kein direkter Blick auf die Probe • Unterschiedliche Darstellung(optischer versuch Materialkontrast) Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

  7. Agenda 1 Technischer Hintergrund 2 Umsetzung 3 4 5 6 7 8 Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

  8. Die Lösung: Shuttle & Find • Hardware • Spezifischer Probenhalter • Markierungen zur Kalibrierung des Koordinatensystems • Adapter für Lichtmikroskop und REM • Auch individuelle Adapter möglich • Software • Imaging-Software „AxioVision“ • Modul „Shuttle & Find“ • Speichern und wieder anfahren beliebig vieler Probenpositionen • Gleiche Software fürLichtmikroskop und REM • Überlagern der Einzelbilderzu einem Gesamtbild • Überblendfunktion Probenhalter Adapter LiMi Adapter REM Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

  9. Korrelative MikroskopieNeue Einblicke • Lichtmikroskop • Helligkeitskontrast • Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche bzw. Objekte nur über Helligkeit und Farbe Rasterelektronenmikroskop • Materialkontrast • Unterscheidung durch Auswertung unterschiedlicher Signale bei „Beschuss“ mit Elektronenstrahl Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

  10. Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

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