等离子体应用概述
等离子体应用概述. 童 洪 辉 核工业西南物理研究院. 低温等离子体分类. 热等离子体 ( 平衡 ): 主要由高强度直流电弧与高频感应藕合产生 , 特点 : 电场强度低 --10V/cm, 小 E/p, 热电离 ,Te≈Ti, 粒子碰撞起支配作用 低气压等离子体 : 主要由辉光、微波与电晕放电产生 , 特点 :P≪1 大气压 , 高 E/p,Ti <Te, 先电子在电场中加速再传给重粒子 大气非平衡等离子体 : p~1 个大气压 尘埃等离子体 : 存在颗粒 ~10 微米以下. 应 用 领 域. 核西物院的等离子体应用. 柔性基材镀膜 材料表面处理 危险废物处置
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