1 / 17

Proprietati electrice investigate prin tehnica AFM

Proprietati electrice investigate prin tehnica AFM . MICROSCOPIA DE FORTA ATOMICA (AFM). Moderna Precisa Simpla Eficienta Spectaculoasa Rezolutie spatiala pana la nivel de atom.

ting
Télécharger la présentation

Proprietati electrice investigate prin tehnica AFM

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Proprietati electrice investigate prin tehnica AFM

  2. MICROSCOPIA DE FORTA ATOMICA (AFM) Moderna Precisa Simpla Eficienta Spectaculoasa Rezolutie spatiala pana la nivel de atom Gerd BINNIG and Heinrich ROHRER invented the Scanning Tunneling Microscope in 1981 working at IBM Zurich. Binnig also invented the Atomic Force Microscope with Calvin Quate in 1986 while spending a year at Stanford University. Binnig and Rohrer received the NOBEL PRIZE for physics in 1986 Investigarea morfologiei suprafetelor Proprietati locale: magnetice electrice termice mecanice …

  3. Microscop optic calculatorul Platforma pentru proba Masa antivibratii Sistem de iluminare Electronica de control SISTEM AFM-COMPONENTE PRINCIPALE

  4. Schema generală a microscopului de forţă atomică Imaginea schematică a unei sonde AFM

  5. MICROSCOPIA DE FORTA ELECTRICA (EFM) DISTRIBUTIA CAPACITATII ELECTRICE C(x,y) DISTRIBUTIA POTENTIAL DE SUPRAFATA φ(x,y) MICROSCOPIA DE CAPACITATE METODA KELVIN

  6. imaginea SEM a unui vârf AFM acoperit cu un film conductor imaginea SEM a unui vârf AFM standard

  7. Circuitul pentru măsurarea interacţiunii electrice dintre vârf şi probă dielectric, semiconductor

  8. tensiune varf-proba forta electrica de interactiune varf-proba Componenta za forţei electrice care acţionează asupra vărfului din partea probei: componenta constanta componenta cu frecventa ω componenta cu frecventa 2ω

  9. VARF-SUPRAFATA R - raza caracteristică rotunjirii vârfului h- distanţa dintre vârf şi suprafaţă SUPRAFATA-VARF L - lungimea cantileverului W - lăţimea cantileverului H - înălţimea vârfului măsurat de la mijlocul bazei cantileverului

  10. (100 μm) (30 μm) (30 μm) forta VARF-SUPRAFATA > forta SUPRAFATA-VARF (h < 10nm)

  11. Tehnica dublei treceri în microscopia de forţă electrică VARFUL CONDUCTIV SUPRAFATA PROBEI COULOMB FAZA FRECVENTA AMPLITUDINEA IMAG. SP IMAG. EFM φ(x,y) Amplitudinea de oscilatie cu frecventa ω C(x,y) frecventa 2ω Uo=φ(x,y)

  12. APLICATII ale microscopiei de forţă electrică şi ale înregistrării potenţialului de suprafaţă • proba aluminiu, 8μm x 8μm > 160 mV IMAG. SP TOPOGRAFIA

  13. Detectare a contaminarii materialului si a defectelor de fabricatie • insule de tungsten (200nm) pe substrat de siliciu, 76μm x 76μm reziduu ramas in urma decaparii TOPOGRAFIA IMAG. SP

  14. EFM detecteaza regimul de saturatie al tranzistorului • circuit integrat acoperit cu un strat decapant, 80μm x 80μm IMAG. EFM TOPOGRAFIA semanlul electric arata ca tranzistorul din stanga este in saturatie

  15. Bariera de potential a limitei granulare celule solare senzori de gaz rezistori … • aluminiu-cupru, 20μm x 20μm TOPOGRAFIA IMAG. SP Rezistenta electrica prin structura granulara de suprafata poate fi de pana la 1000 ori mai mare decat a unei granule

  16. Pozitionarea structurii granulare Masurarea caderii de potential (~350mV) • varistor pe baza de ZnO, 10μm x 10μm +4V 0V -4V IMAG. SP

  17. Gradient al campului electric mai ridicat • nanofire in matrice dielectrica Al2O3, 1,7μm x 1,7μm IMAG. EFM TOPOGRAFIA

More Related