1 / 341

Chapter 14 CMOS 製程

Chapter 14 CMOS 製程. Hong Xiao, Ph. D. hxiao89@hotmail.com www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm. 目標. 列出 1980 至 1990 年代主要製程技術的改變 解釋銅金屬化以及傳統金屬化之間的差異. 1960 s PMOS 擴散 金屬匣極. 1970 s NMOS 離子佈植 多晶矽匣極. 從 1960 s 到 1970 s. 1980’ s 技術. LCD 取代 LED 作為電子錶和計算機的顯示燈

barney
Télécharger la présentation

Chapter 14 CMOS 製程

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Chapter 14 CMOS 製程 Hong Xiao, Ph. D. hxiao89@hotmail.com www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  2. 目標 • 列出1980 至1990年代主要製程技術的改變 • 解釋銅金屬化以及傳統金屬化之間的差異 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  3. 1960s PMOS 擴散 金屬匣極 1970s NMOS 離子佈植 多晶矽匣極 從 1960s 到 1970s www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  4. 1980’s 技術 • LCD 取代 LED作為電子錶和計算機的顯示燈 • CMOS IC 因耗能較低取代 NMOS IC • 最小的圖形尺寸: 從 3 mm 縮小到 0.8 mm • 晶圓尺寸: 100 mm (4 in) 增加到 150 mm (6 in) www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  5. 1980’s CMOS技術 • LOCOS • PSG 和 再流動 • 蒸鍍機沉積金屬 • 正光阻 • 投影式對準及曝光機 • 電漿蝕刻和濕式蝕刻 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  6. 1980’s 技術, 晶圓清洗 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  7. 成長襯墊氧化層 襯墊氧化層 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  8. LPCVD沉積氮化矽 襯墊氧化層 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  9. 光阻塗佈 襯墊氧化層 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  10. 光罩 1,矽局部氧化(LOCOS) www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  11. 光罩 1, 矽局部氧化(LOCOS) 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  12. 對準和曝光 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  13. 顯影 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  14. 蝕刻氮化矽 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  15. 剝除光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  16. 絕緣佈植 氮化矽 p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  17. 濕式氧化形成LOCOS 氮化矽 SiO2 p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  18. 剝除氮化矽及襯墊氧化層，清洗 SiO2 p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  19. 成長屛蔽氧化層 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  20. 光阻塗佈 光阻 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  21. 光罩 2, N型井區 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  22. 光罩 2, N型井區 光阻 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  23. 曝光 光阻 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  24. 顯影 光阻 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  25. N型井區佈植 磷離子佈植 光阻 SiO2 N型井區 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  26. 剝除光阻 SiO2 N型井區 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  27. N型井區驅入 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  28. 剝除屏蔽氧化層 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  29. 成長犧牲氧化層 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  30. 剝除犧牲氧化層 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  31. 成長匣極氧化層 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  32. 沉積多晶矽 匣極氧化層 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  33. 光阻塗佈 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  34. 光罩 3, 匣極及連接導線 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  35. 光罩 3, 匣極及連接導線 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  36. 曝光 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  37. 顯影 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  38. 蝕刻多晶矽 多晶矽匣極 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  39. 剝除光阻 多晶矽匣極 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  40. 光阻塗佈 多晶矽匣極 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  41. 光罩 4, n型源極 / 汲極 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  42. 曝光 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  43. 顯影 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  44. n型源極 / 汲極 離子佈植 P+佈植 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  45. 剝除光阻 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  46. 光阻塗佈 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  47. 光罩 5, P型源極 / 汲極 曝光 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  48. 顯影 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  49. P型源極 / 汲極 離子佈植 B+佈植 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  50. 剝除光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

More Related