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Efficient Vacuum System for Research Solutions Discussion

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3 diapositives · 143 Views · Jul 17, 2014

Explore wide pipe and pump configuration in ELL vacuum system research. Diagrams and control methods for optimal pressure and pumping efficiency.

Efficient Vacuum System for Research Solutions Discussion - slide 1
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Transcription de la présentation
  1. Vacuum Research Solution Discussion

  2. ELL F Wide pipe A Pump E G N2 D B C To a “J” shaped hook narrow pipe ELL Vacuum System ELL block diagram

  3. E A B Process Chamber C F D G H Pump Process chamber block diagram • It controls pressure by the butterfly valve H. It modulates the conductance of the pumping path by either open itself up to increase conductance or the opposite. Pmin = Qload/Seff, 1/Seff = 1/S+1/C. So conductance C can modulate Pmin through Seff. If pressure is too high it should open up H to increase conductance and effective pumping speed.